今日消息,业内称台湾芯片制造商台积电已表示,其1.4纳米制程技术并不需要配备高端的极紫外光刻(EUV)设备,目前还并未找到需要特殊光学系统的原因。
台积电重申了在阿姆斯特丹举行的欧洲技术研讨会上对下一代高NA EUV光刻设备的支持立场。他们所研发的工艺技术包括A16(1.6纳米)、以及A14(1.4纳米)这些都无需使用如此高端的光刻系统。
这将确保该公司不会在此节点使用高数值孔径EUV 设备。

张晓强说:“人们似乎总是对台积电何时会使用高数值孔径(High-NA)感兴趣,我认为我们的答案很简单。”
只要我们的发现表明采用高数值孔径(High-NA)技术能够带来有益的效果,我们就会采纳这种方案的。对于A14而言,在不使用高数值孔径的情况下,性能提升也非常明显。因此,我们的技术团队正在持续探索如何通过延长现有EUV寿命的同时获取微缩优势来进一步发展我们的工艺技术。私家侦探,侦探公司,调查公司,查人找物,商务调查,出轨外遇调查,婚外情调查,私人调查,19209219596
台积电的A14工艺基于其第二代纳米片环栅晶体管 (Nanosheet Gate-All-Accepted Transistor),以及全新的标准单元架构。
TSMC称,A14 的能耗提升率为15%,而在相同功率和复杂度下性能将提升15%;或者,在相同频率下,功耗将降低25%-30%。
“这是我们技术团队的一个重大创新。” 张晓强表示。“只要他们继续寻找方法,我们似乎不用再依赖高数值孔径的 EUV了。终究,我们会在这个时机用上它,只是需要找到一个合适的拦截点,并为最大化的效益以及最大的投资回报提供支持。”***私家侦探,侦探公司,调查公司,查人找物,商务调查,出轨外遇调查,婚外情调查,私人调查,19209219596***
据报道,作为当今世界上最先进的光刻设备,ASML的这款新款高数值孔径(EUV)光刻机不仅性能极为优异,在全球市场上的售价超过4亿美元,堪称天文数字,这种昂贵的成本导致许多公司对这款光刻机望而却步。
截止至目前为止ASML公司已成功交付5台设备,分别是由Intel和Samsung生产。这5台设备都超重,重达180吨,且尺寸与一个大巴车相似,被认为是世界上最昂贵的半导体生产线装备之一。

Intel在全球首台High NA EUV 光刻机的竞争中占据了领先地位。
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